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產品中心高精度電動平移臺系列高精電動整體組合臺SE-XY15高精電動整體組合臺
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產品簡介
X，Y軸行程15mm高精電動整體組合臺，真空平臺臺面尺寸90x90mm螺桿規格高研絲桿副(導程1 mm)電動整體組合臺雙軸滑臺行程
高精電動整體組合臺，真空平臺產品參數：
電動整體組合臺雙軸滑臺行程
| 產品型號 | SE-XY15 | |
| 結構描述 | X，Y軸行程 | 15mm |
| 臺面尺寸 | 90x90mm | |
| 螺桿規格 | 高研絲桿副(導程1 mm) | |
| 導軌 | 交叉滾柱導軌 | |
| 步進電機(1.8°) | 28STH51H-0674B | |
| 主體材料 | 鋁合金 | |
| 表面處理 | 陽極氧化發黑 | |
| 臺面承載 | 10kg | |
| 重量 | 3.2kg | |
| 精度描述 | 分辨率 | 2.5μ(無細分)0.125μ(20細分) |
| 速度 | 6mm/sec | |
| 重復定位精度 | 1.5μ | |
| 定位精度(選配光柵) | 5μ | |
| 直線度 | 5μ | |
| 運動平行度 | 15μ | |
| 俯仰 | 50" | |
| 偏擺 | 25" | |
| 回程間隙 | 2μ | |
| 丟步 | 2μ | |
| 可加裝光柵尺（G） | ||
| 可換裝伺服電機（D) | ||
X，Y軸行程15mm高精電動整體組合臺，真空平臺
臺面尺寸90x90mm
螺桿規格高研絲桿副(導程1 mm)
高精度電動整體組合臺雙軸滑臺行程
電動整體組合臺雙軸滑臺行程
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